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據(jù)證券時報，今年一季度，科創(chuàng)板半導體材料（884091）設備ETF份額較年初接近翻番，區(qū)間凈流入額近60億元，截至目前，3只上市產(chǎn)品總體規(guī)模已超百億元。今年以來，滬市陸續(xù)上市5只科創(chuàng)芯片設計主題ETF，推動資金加速匯聚國家自主創(chuàng)新產(chǎn)業(yè)賽道。