據(jù)華海清科(688120)消息,近日,華海清科(688120)全資子公司芯崳半導體(881121)(上海)有限公司自主研發(fā)的12英寸大束流離子注入機iPUMA-LE成功交付國內(nèi)先進存儲領(lǐng)域龍頭企業(yè)。公司表示,這是繼此前該裝備批量交付多家集成電路制造(884227)頭部企業(yè)后,華海清科(688120)離子注入系列裝備在存儲芯片(886042)領(lǐng)域的又一重要進展。

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